在電子科技的迅猛發展的今天,同樣也帶動了空氣潔凈產業的發展。從2003年130nm工藝到2005年的90nm工藝以及2007年的50nm工藝、2009年的34nm工藝以至現在的25nm工藝。線間距越來越小,同樣的潔凈度等級要求也越來越高。
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